ADL电源维修GSC120直流溅射电源维修北京

2020-07-28 12:11 admin tpzd
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射频电源维修常见故障:

故障现象1:打开电源,电源指示灯不亮;

故障现象2:电源灯亮了,预热灯不亮;

故障现象3:电源灯亮了,预热灯亮、辉光亮,匹配器功率及反射功率,电源的功率指示和电流指示不正常。(正常的功 率指针指到220,电流指示0.4)

故障现象4:电源灯亮了,预热灯亮,辉光不亮:;

故障现象5:无功率输出;

故障现象6:有功率输出,但是调不大,或是调不到正常值。

故障现象7:无反射功率,或反射功率过大,射频功率源坏;

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