KYOSAN电源维修RFK150ZDTG1电源控制器BKW-100

维修范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源，烘干、塑化、接、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源，直流偏压和硬镀膜，信息技术设备(ITE)及轻工业系统设备，同时对仪器电源提供检测维修，服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。

射频电源常见故障及维修：

故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；

故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；

故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）

故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮；

故障现象5：无功率输出；

故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。

故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏；

日本京山KYOSAN电源维修射频电源维修RFK150FH

主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等国际品牌 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供专家级射频电源检测维修。

从事半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳能生产设备、电镀行业设备电子备件维修。公司拥有经验丰富的电源维修工程师，对各种大功率开关电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups电源维修等有深厚的维修功底和丰富的维修经验。我们本着“精益求精”的服务宗旨，努力提高维修技术，扩展测试手段，丰富维修经验，更新测试设备，积累一些常见的维修技巧，为用户排忧解难，从而更快、更好的服务于用户。我们的维修更具有维修率高、周期短、无需电路图等优点，深得客户的认可。

维修品牌：ASTEC、COSEL、Veeco、Comdel、美国AE电源(MDX、MDX II、 pinnacle、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、 RFPP（RF、LF）VHF、HFV等)、seren、ENI电源（DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、Singulus电源等

射频电源维修、对光伏企业生产设备如：刻蚀设备所用的国产中科院及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种，功率包括：1KW、1.5KW、2KW、10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修；PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修；RF射频电源维修，烧结炉驱动卡维修；1394电机驱动卡维修;baccini丝网印刷机设备工控主板维修、相机驱动卡维修、恒温槽维修等光伏设备电子备件维修有丰富的维修经验。

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