PFEIFFER普发分子泵控制器维修驱动器维修TC110

分子泵控制器维修范围：

普发Pfeiffer， 莱宝Leybold，阿尔卡特 Alcatel ，爱发科ULVAC，爱德华Edwards ，瓦里安Varian，精工精机Seiko Seiki ，岛津Shimadzu，安捷伦Agilen，大阪Osaka, 普旭Busch等真空涡轮分子泵,复合分子泵,磁悬浮分子泵，分子泵机组，分子泵电源，分子泵控制器,分子泵驱动器,真空计，真空显示器，真空规管，真传感器，氦气检漏仪,质谱仪的维修服务，经验丰富，检测设备完备，有多种型号分子泵维修配件。

提供德国Pfeiffer普发分子泵/分子泵电源/分子泵控制器维修

普发Pfeiffer分子泵维修系列包括:TMH系列，TPH系列，TPU系列，TMU/TPD系列，HiPace系列，ATH/ATP系列等。

PFEIFFER普发分子泵维修常见问题：

1. 真空度正常, 分子泵可以达到全速, 但是噪音大

故障原因: 前级泵问题, 系统漏气, 轴承问题, 转速限定

建议: 分子泵运行过3年, 可能内部陶瓷球轴承已磨损, 建议送修检测, 如果放任不管, 后续会磨损转子, 对泵体内部造成更严重的损伤；

2. 油棉污染: 油棉变黑, 发黄

建议: 3-4年更换分子泵油棉. Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式, 可以给轴承降温, 减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承, 避免污染物附着在轴承上面, 有效延长分子泵的使用寿命.

3. 分子泵无法启动: 用手拨动叶片, 叶片无法转动

建议: 转子已完全卡住, 建议立刻送修

4. 分子泵异响:

故障原因: 异物进入, 陶瓷轴承磨损或损坏, 转子动平衡问题, 前级泵返油; 工艺环境粉尘较多或有异物进入分子泵时, 会对旋转的叶片和转子造成很大损害

建议: 立即停机送修检测

5. 分子泵无法达到全速, 真空度抽不下去

建议: 请检查前级真空是否正常, 如果是分子泵组, 请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下, 无法解决问题建议立即送修检测

6. 分子泵返油: 多数是由于前级泵返油导致, 建议立即送修检测

7. 无法启动: 没有供电, 控制器没有响应, 没有收到启动信号, 转子卡住或轴承损坏

8. 常见分子泵控制器维修故障代码

Err 006: 启动时间设定太短, 系统漏气或放气阀打开, 前级泵真空度问题

Err 021 / Err 108: 控制器问题

Err 117: 控制器问题, 冷却问题, 系统漏气