AE脉冲直流电源维修PINNACLE PLUS10K20K
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Pinnacle® Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本以及具有的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术,Pinnacle Plus 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比,沉积率更高,重复性能更好,薄膜质量更为优异。优势:
更高的沉积率与产品率
薄膜均匀性和品质一流
成弧造成的基材损坏减少
成本更低
系统整合容易
工艺灵活性和宽容度
重复性能
在过度曲线上运行稳定
吞吐量更高
系统灵活性特点:
一个紧凑型封装
频率调节范围为 5-350kHz
占空比大
电压范围宽——单输出宽阻抗范围
大功率运行
基材温度低
单输出(5kW 和 10kW 型号)
用于双阴极生产的双输出(双路5kW 型号)
弧控制
反应性溅射闭环控制规格:
输出功率:5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出
电压范围:325-650VDC,可选325-800VDC输出(宽Z)
输出功率接头:五个终端、DIN压缩接头;电线尺寸:#6 AWG
输出接头:两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头
电流:15.4ADC;15.4ADC/输出;30.8ADC
频率:5到350KHz,可变
反向电压:工作电压的0.1
点火功能:1500VDC,正常1350VDC
调节模式:功率、电压或电流
交流线电压:200/208、400或480VAC
电流:5KW:200/208VAC:标称值17A/Φ
400VAC:标称值8.5A/Φ
480VAC:标称值7.5A/Φ
5KW双输出/10KW单输出200/208VAC:标称值35A/Φ
400VAC:标称值17A/Φ
480VAC:标称值15A/Φ
RF Generator射频电源维修和配套直流电源维修 1、AE(ADVANCED ENERGY)射频电源/直流电源 2、MKS ENI射频电源/直流电源 3、DAIHEN射频电源 4、KYOSAN射频电源/直流电源
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