我司从事高压电源维修近20年，激光高压电源维修，光谱分析高压电源维修，无损探伤高压电源维修，半导体制造设备高压电源维修，电泳高压电源维修，无损检测高压电源维修，半导体技术中的粒子注入高压电源维修、物理汽相沉积高压电源(PVD)维修,纳米光刻高压电源维修，X光机专用高压电源维修，X光机电源维修、X射线源维修、X光管高压电源维修、可调高压电源维修、直流高压电源维修、稳压高压电源维修、特种高压电源维修、高压直流电源维修等。

大型设备往往都配有功能较为齐全的故障诊断程序，我们可以充分利用软件的提示，缩小故障排查范围，但有时诊断软件提示的受损元件不一定准确，需要扩展思路，进一步确定故障部位，彻底解决问题。

对于机器工作不稳定或工作时好时坏，可检查箱内主电路的螺钉、接线端子等等是否松动（在运输中有可能会出现）、接线端氧化等，老电源或使用环境差的电源应注意内部是否积了很多灰尘（可用风枪吹掉）；如箱内积有很多油污且使用期限很长，不可修复应报废处理。

在维修时，对于客户要求维修的电源，不能私自拆掉内部扎带、控制板、剪掉接线或到处乱接乱改，有可能会造成对整机干扰或性能下降，如退回时，老电源因规范的问题，很多都没有接线图，可能会给维修带来很大难度，严重时会造成报废，会给客户或公司的信誉受到一定的影响（大族产品是承诺终身维护）。

老式电源，在现场无法维修，需要退回总公司时，上下箱的连接线应全部一起退回，以便更全面地进行检测与维修。

退回的电源或主控板应做好表面防震保护，防止面板划伤、变形或器件脱落，以免给公司造成不必要的损失，给维修工作也会带一定的麻烦。

退回的电源或主控板应贴有标签，注明电源现场详细故障、办事处名等，便于维修技术员的分析与维修，有时会出现在整机上测试和单独测试故障现象不一致。我们维修人员会根据标签做相关维修记录，做好激光电源维修跟踪，提高维修良品率。

老式半导体主控箱或电源箱，在维修时确认某块出现故障时，在现场无法修复的，应将整台电源或主控箱退回。（产品不断升级，对于两年以上的老版本，在生产线无法对零散的控制板或主控板进行维修检测）

曾多次维修，到客户那仍不能使用的，应在现场检查整机接线及其它易损易坏部件。检查引起故障原因所在。并做好现场检测记录随机退回。

为进一步确定故障范围，可将通道板进行互换，观察故障现象是否有变化。互换时，先泄放掉手腕上的静电，并戴上防静电手套，将中间的通道板与右边的通道板进行互换，重作通道检测，此时提示29号slot损坏，故障位置发生了改变，证明中间的通道板损坏。

这是通道板故障不断演变的过程。通道板出现故障，机架电源及扫描系统均不能启动，CT机诊断程序提示DMS电源可能出现问题(实际上DMS电源是正常的)。随着通道板性能进一步改变，机架电源及扫描系统又能启动，伴随着CT机图像开始出现伪影。此时运行诊断程序，提示探测器模块损坏(实际上探测器模块是好的)。进行具体的通道检测，软件又能检测出有故障的通道。