AE射频电源维修 射频发生器 中频电源 PE II 10K
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美国AE PE II 10K射频电源是Advanced Energy(AE)公司生产的一款射频电源,广泛应用于半导体制造、等离子镀膜、刻蚀(如RIE、PECVD、ICP)以及CVD和PVD系统中。
常见故障原因与初步排查方法
如果设备出现故障,可以先从以下方面进行简单检查(但复杂维修建议交由维修人员操作):
电源线路问题:
检查电源插头、线路是否松动或损坏,使用万用表测量输入的电压是否稳定(如208V)。
散热与环境因素:
确保设备通风良好,避免灰尘堆积导致过热;环境温度过高或湿度过大可能引发故障。
元器件老化:
频繁开关机或超载运行可能导致元器件(如滤波电容、开关管)损坏。可观察显示屏是否有异常(如无显示、乱码)。
软件或控制模块故障:
若电源上电但是无输出,可能是控制信号异常,需通过示波器检测控制电路。
我们主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、技术研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、温度控制器Thermo Chiller,微波发生器等,提供设备维护维修整包、批量产品维修。
射频电源维修、对光伏企业生产设备如:刻蚀设备所用的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种,功率包括:1KW、1.5KW、2KW、10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修;PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修;RF射频电源维修,烧结炉驱动卡维修;电机驱动卡维修;baccini丝网印刷机设备工控主板维修、相机驱动卡维修、恒温槽维修等光伏设备电子备件维修有丰富的维修经验。




